S-枪磁控溅射技术及其应用

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S-枪磁控溅射技术及其应用

发布日期：2018-08-14 阅读次数：303

获奖类型	国家科学技术进步奖
获奖项目名称	S-枪磁控溅射技术及其应用
获奖人员	王德苗梁素珍任高潮徐电陈抗生
奖级	三等奖
获奖年度	1988

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