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经过两年多的努力,浙大微电子与光电子研究所目前成功将石墨烯氧化物(Graphene oxide)应用于声表面波(Surface Acoustic Wave) 传感层,实现高灵敏度的湿度传感器(Humidity Sensors),该传感器具有较快的响应时间,从高湿度80%RH到10%RH响应时间不到1秒,低湿度10%RH到高湿度80%RH约为18秒,器件还适用于超低湿度和超高湿度下的复杂环境工作条件。此基于石墨烯传感层的表面声波器件, 拓展了传统湿度传感器的应用领域,并具有独特优势,有望应用于未来无线信息电子的智能传感系统。
该成果发表在2014年11月的Scientific Reports(科学报道)。工作得到国家自然科学基金和浙江省自然科学基金重点和省杰出青年项目的资助,唐仲英传感材料及应用研究中心、微纳电子器件平台的支持,此研究工作还得到了剑桥大学EE系和浙大高分子系的大力支持。
http://www.nature.com/srep/2014/141126/srep07206/full/srep07206.html